Печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение углерода) предназначена для изотермической обработки CVD / CVI на поверхности углеродных материалов или их подложки углеводородным газом (например, С3Н8 и др.) в качестве источника углерода.
запросНазначение
Печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение углерода) предназначена для изотермической обработки CVD / CVI на поверхности углеродных материалов или их подложки углеводородным газом (например, С3Н8 и др.) в качестве источника углерода.
Модели и параметры вертикальных вакуумных трубчатых печей
Модели / параметры | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1120-C | VCVD-1320-C | VCVD-1520-C |
Размер рабочей зоны Д×В (мм) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1100 × 2000 | Φ1300 × 2000 | Φ1500 × 2000 |
Макс. температура(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
Однородность температуры (°C) | ±5/±10 | ±5/±10 | ±5/±10 | ±5/±10 | ±5/±10 | ±5/±10 |
Предельный вакуум (Па) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
Скорость увеличения давления (Па/ч) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
Данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте. |
Модели / параметры | VCVD-1822-C | VCVD-2032-C | VCVD-2632-C | VCVD-3338-C | VCVD-3344-C |
Размер рабочей зоны Д×В (мм) | Φ1800 × 2200 | Φ2000 × 3200 | Φ2600 × 3200 | Φ3300 × 3800 | Φ3300 × 4400 |
Макс. температура(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
Однородность температуры (°C) | ±5/±10 | ±5/±10 | ±5/±10 | ±5/±10 | ±5/±10 |
Предельный вакуум (Па) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
Скорость увеличения давления (Па/ч) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
Данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте. |
Технические особенности вертикальных вакуумных трубчатых печей
1. Конструкция печи с разным числом зон нагрева, с хорошей однородностью температуры.
2. Имеется особая камера осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения.
3. Используются несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения.
4. Имеется функция удаления смол, золы, пыли, твердых частиц и органики, выделяющиеся во время процесса осаждения.
Опции комплектующих печи химического осаждения
1. Двери печи:винтовой подъем /гидравлический подъем/ручной подъем;ручное запирание/автоматический кольцевой затвор.
2. Корпус печи:полностью углеродистая сталь/внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь
3. Камера вертикальных вакуумных трубчатых печей:мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC
4. Нагреватель, муфель:HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров
5. Пневматическая система:объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная/китайская марка
6. Вакуумный насос и вакуумметр:импортная//китайская марка
7. HMI (интерфейс): аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер
8. PLC: OMRON/SIEMENS
9. Контроллер температуры печи химического осаждения:SHIMADEN/ EUROTHERM
10. Термопара: тип C, тип S, тип R, тип B
11. Регистратор:безбумажный/ бумажный, импортная/китайская марка
12. Электрические элементы:CHINT/SCHNEIDER/ SIEMENS
Основанная в 1999 году, компания АСМЕ(Advanced Corporation for Materials & Equipments) расположена в промышленной зоне Муюнь на площади 100000 m2. АСМЕ является высокотехнологичным предприятием, специализирующимся на производстве промышленного термического оборудования для новых материалов и энергии.