Печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение углерода) предназначена для изотермической обработки CVD / CVI на поверхности углеродных материалов или их подложки методом углеводородного газа (например, С3Н8 и др.) в качестве источника углерода.
запросНазначение
Печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение углерода) предназначена для изотермической обработки CVD / CVI на поверхности углеродных материалов или их подложки методом углеводородного газа (например, С3Н8 и др.) в качестве источника углерода.
Модели и параметры вакуумных лабораторных печей
Модели/ параметры | HCVD -060609-C | HCVD -101015-C | HCVD -121220-C | HCVD -151530-C | HCVD -252035-C |
Размер рабочей зоны Ш×В×Д (мм) | Φ600 × 600 × 900 | Φ1000 × 1000 × 1500 | Φ1200 × 200 × 2500 | Φ1500 × 1500 × 3000 | Φ2500 × 2000 × 3500 |
Макс. температура(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
Однородность температуры(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
Предельный вакуум (Па) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
Скорость увеличения давления(Па/ч) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
Данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте. |
Технические особенности вакуумных лабораторных печей
1. Размер рабочей зоны печи может достигать 2,5 м × 2,5 м × 5 м,она позволяет CVD обработку больших деталей.
2. Использует несколько отдельных зон контроля температуры, с хорошей однородностью температуры.
3. Имеется особая камера осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения.
4. Используются несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения.
5. Печь химического осаждения из газовой фазы имеет функцию удаления смол, золы, пыли, твердых частиц и органичных газов, выделяющихся во время процесса осаждения.
Опции комплектующих
1. Двери печи: ручное запирание/автоматический кольцевой затвор.
2. Корпус печи:полностью углеродистая сталь/внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь
3. Камера вакуумных лабораторных печей:мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC
4. Нагреватель, муфель:HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров
5. Пневматическая система:объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная /китайская марка
6. Вакуумный насос и вакуумметр:импортная/китайская марка
7. HMI: аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер
8. PLC: OMRON/SIEMENS
9. Контроллер температуры печи химического осаждения из газовой фазы: SHIMADEN/EUROTHERM
10. Термопара:C тип/ S тип/ K тип/ N тип
11. Регистратор:безбумажный/ бумажный;импортная/китайская марка
12. Электрические элементы:CHINT/SCHNEIDER/SIEMENS
13. Тележка:ролик погрузчик/вилочный погрузчик/складная конструкция
Основанная в 1999 году, компания АСМЕ(Advanced Corporation for Materials & Equipments) расположена в промышленной зоне Муюнь на площади 100000 m2. АСМЕ является высокотехнологичным предприятием, специализирующимся на производстве промышленного термического оборудования для новых материалов и энергии.