меню

Оборудование

Главная >Оборудование>Оборудование для С & SiC композиционных материалов

КЛАССИФИКАЦИЯ




контактная информация

  1. Моб: +86-15173153690 Настя
  2. E-Mail:overseas@sinoacme.cn
  3. Адрес: 410199,Лянтанг восточная улица, АСМЕ Синша парк, г. Чанша, провинция Хунань, Китай

Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (ХГО для осаждения SiС)

3. Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (CVDХГО для осаждения SiС).jpg


Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (ХГО для осаждения SiС)

Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение карборунда) предназначена для возникновения коррозиеустойчивыех покрытий на поверхности углеродных материалов или улучшения свойства их подложки трихлормоносиланом (MTS) в качестве источника газа. 

запрос
Технические характеристикиОтносящиеся к оборудованиюопционные конфигурации

Назначение

Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение карборунда) предназначена для возникновения коррозиеустойчивыех покрытий на поверхности углеродных материалов или улучшения свойства их подложки трихлормоносиланом (MTS) в качестве источника газа. 


Модели и параметры горизонтальной печи для ССЗ


Модели / параметрыHCVD-060609-SICHCVD-080812-SICHCVD-101015-SICHCVD-121225-SICHCVD-151530-SIC
Размер рабочей зоны Ш×В×Д (мм)Φ600 × 600 × 900Φ800 × 800 × 1200Φ1000 × 1000 × 1500Φ1200 × 200 × 2500Φ1500 × 500 × 3000
Макс. температура(℃)15001500150015001500
Однородность температуры (℃)±7.5±7.5±7.5±10±10
Предельный вакуум (Па)5050505050
Скорость увеличения давления (Па/ч)0.670.670.670.670.67
Вышеуказанные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте.

Технические особенности горизонтальной печи для ССЗ

1. С использованием самой передовой технологии управления. Можно точно контролировать поток и давление MTS. Поток осаждения является стабильным и давление колеблется в узком диапазоне. 
2. Имеется особая камера осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения. 
3. Используются несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения. 
4. Горизонтальная печь химического осаждения имеет функцию удаления коррозионных отходящих газов, горючих и взрывоопасных газов, твердой пыли и липких материалов низкого плавления в процессе осаждения. 
5. С использованием новейшей конструкции коррозионностойких вакуумных насосов, увеличивая их живучесть и сокращая время технического обслуживания. 
6. Размер рабочей зоны печи может достигать 2,5 м × 2,5 м × 5 м, что подходит для CVD обработки больших деталей.


Конфигурация горизонтальной печи для ССЗ

1. Двери печи:дверца на петлях/рама на колёсах, ручное запирание/автоматический кольцевой затвор. 
2. Корпус печи:полностью углеродистая сталь/внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь 
3. Камера печи:мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC 
4. Нагреватель, муфель:HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров 
5. Пневматическая система: объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная/китайская марка 
6. Вакуумный насос и вакуумметр:импортная/китайская марка 
7. PLC: OMRON/SIEMENS 
8. Контроллер температуры горизонтальной печи химического осаждения:SHIMADEN/EUROTHERM 
9. Термопара:C тип/ S тип/ K тип/ N тип 
10. Регистратор:безбумажный/ бумажный; импортная/китайская марка 
11. HMI(интерфейс): аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер 
12. Электрические элементы:CHINT/SCHNEIDER/SIEMENS 
13. Тележка:ролик погрузчик/вилочный погрузчик/складная конструкция 

Связанное оборудование


Адрес
410199,Лянтанг восточная улица, АСМЕ Синша парк, г. Чанша, провинция Хунань, Китай
Моб
+86-15173153690 Настя
Email
overseas@sinoacme.cn

О нас

Основанная в 1999 году, компания АСМЕ(Advanced Corporation for Materials & Equipments) расположена в промышленной зоне Муюнь на площади 100000 m2.  АСМЕ является высокотехнологичным предприятием, специализирующимся на производстве промышленного термического оборудования для новых материалов и энергии.

Связаться с нами

Advanced Corporation for Materials & Equipments | карта сайта